在半导体行业的生产中,超纯水扮演重要角色。一个大型Fab工厂,在半导体制造过程中每天需使用5～6万吨超纯水,接近一个百万人口城市每天的用水量。当芯片的精密度越来越高,超纯水作为生产环节中的关键角色，对水质纯度的要求也越来越高。而相应的制备技术也迅速发展起来,已成为工业用水中应用广泛的一个核心门类。
超纯水与芯片生产“环环相扣”
超纯水是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。
芯片虽小,却承载数十亿的纳米级晶体管,在其纷繁复杂的生产中,超纯水主要用于清洗硅片,少量用于配制药剂、硅片氧化的蒸汽源、某些设备的冷却水和电镀溶液,与集成电路产品的质量与产量密切相关。
超纯水与芯片生产关系紧密,例如60～80纳米制程里清洗工艺约有100个步骤,10～20纳米制程里清洗工艺约有200个以上步骤,工艺制程越高,需要的清洗工艺环节越多,清洗频率也越高;同时随着半导体工艺节点的缩小,整个清洗步骤次数约以15%的速度增加。
昌海环保作为超纯水设备制造企业，立足于行业领先的超纯工艺技术能力，秉承“敬业专注，诚实正直”的企业价值观,专注于芯片、显示等半导体高端制造业多年，为行业客户提供行业领先的超纯水与循环再生解决方案及装备，建立完善的超纯工艺产业链，广泛应用于芯片生产、封装测试、显示电子等半导体领域,为客户提供满足超纯要求且可持续发展的水环境。
