电子工业水污染防治可行技术指南

  • 标准编号:HJ 1298—2023
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《电子工业水污染防治可行技术指南》提出了电子工业水污染防治可行技术。

《电子工业水污染防治可行技术指南》hj 1298—2023可作为电子工业企业或生产设施建设项目及电子工业污水集中处理设施的环境影响评价、国家污染物排放标准制修订、排污许可管理和水污染防治技术选择的参考。

电子工业electronic industry包括电子专用材料、电子元件、印制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件、电子终端产品、其他电子设备等电子产品制造业,分别对应gb/t 4754—2017 中的计算机制造(c391)、电子器件制造(c397)、电子元件及电子专用材料制造(c398)和其他电子设备制造(c399)。

水污染防治可行技术available techniques of water pollution prevention and control,根据我国一定时期内环境需求和经济水平,在水污染防治过程中综合采用污染预防技术、污染治理技术和环境管理措施,使水污染物排放稳定达到国家污染物排放标准、规模应用的技术。

行业生产与水污染物的产生

1、电子专用材料水污染物

水污染物主要来源于前处理、刻蚀、电蚀、抛光、清洗、溶铜、表面处理、涂覆、粉碎、研磨等生产单元的工艺废水和辅助生产系统产生的废水,主要污染物项目有ph 值、悬浮物、石油类、化学需氧量(codcr)、总有机碳(toc)、氨氮、总氮、总磷、阴离子表面活性剂(las)、总氰化物、氟化物、总铜、总锌、总铅、总镉、总铬、六价铬、总砷、总镍、总银。

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2、电子元件水污染物

水污染物主要来源于混合、研磨和清洗、端面处理、图形制作和涂覆等生产单元的工艺废水和辅助生产系统产生的废水,主要水污染物项目有ph 值、悬浮物、石油类、codcr、toc、氨氮、总氮、总磷、las、总氰化物、氟化物、总铜、总锌、总铅、总镉、总铬、六价铬、总砷、总镍、总银。

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3、印制电路板水污染物

水污染物主要来源于内层外层线路制作、化学沉铜、电镀、阻焊制作、表面处理和成型等生产单元的工艺废水和辅助生产系统产生的废水,主要污染物项目有ph 值、悬浮物、石油类、codcr、toc、氨氮、总氮、总磷、las、总氰化物、硫化物、氟化物、总铜、总铅、总镍、总银。

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4、半导体器件水污染物

水污染物主要来源于前处理、清洗、外延、光刻、刻蚀、去胶、金属沉积、研磨、封装和电镀等生产单元的工艺废水和辅助生产系统产生的废水,主要污染物项目有ph 值、悬浮物、石油类、codcr、toc、氨氮、总氮、总磷、las、总氰化物、硫化物、氟化物、总铜、总锌、总铅、总镉、总铬、六价铬、总砷、总镍、总银。

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5、显示器件及光电子器件水污染物

水污染物主要来源于显示器件的阵列、彩膜、成盒和模组等生产单元,光电子器件的基片处理、外延、光刻、刻蚀、减薄等生产单元的工艺废水和辅助生产系统产生的废水,主要污染物项目有ph值、悬浮物、石油类、codcr、toc、氨氮、总氮、总磷、las、总氰化物、氟化物、总铜、总锌、总铅、总砷、总镍、总银。

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6、电子终端产品水污染物

水污染物主要来源于电镀、清洗、机械抛光等生产单元的工艺废水和辅助生产系统产生的废水,主要污染物项目有ph 值、悬浮物、石油类、codcr、toc、氨氮、总氮、总磷、las、总氰化物、总铜、总锌、总铅、总镉、总铬、六价铬、总镍、总银。

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污染预防技术

1、一般原则

鼓励电子工业企业推行清洁生产,采取本标准提出的污染预防措施,提高物料利用率、清洗效率,减少水污染物和废水产生量。

2、原辅材料替代技术

环保型退镀液替代技术:适用于印制电路板生产的电镀工序。用硫酸、双氧水体系的环保型退镀液替代电镀工序常规的硝酸退镀液,可减少废水中总氮的产生量,从而减少总氮的排放量。该技术需同时使用硫酸亚铁或亚硫酸氢钠作为还原剂,前者易增加污泥产生量,后者成本较高。

非金属树脂材料替代技术:

适用于显示器件及光电子器件生产的彩色滤光片制备。在彩色滤光片的制备过程中,bm(黑色矩阵)膜采用环保性能相对较好的非金属黑色树脂替代金属铬/氧化铬,可消除使用铬带来的污染问题。

3、设备或工艺革新技术

逆流清洗废水回用技术:适用于电子工业清洗工序产生的清洗废水回用处理。清洗过程有单级清洗、二级和三级逆流清洗,由末级槽进水、第一级槽排出清洗废水,其水流方向与工件清洗移动方向相反,生产线配套在线回用水装置,对多级逆流水洗的最后一道水洗废水进行在线回收,回用至上一级清洗环节,进而提高水重复利用率,节约厂区新鲜水使用量。与全部采用新鲜水清洗相比,可减少废水产生量约30%以上。

喷射水洗技术:适用于印制电路板水平生产线的清洗工序。喷射水洗技术分为喷淋水洗和喷雾水洗,工件可集中到2~3 处水洗槽中进行清洗,清洗水一般为上一级水洗的排出水。由于喷嘴可调到任意需要的角度,可有效清除工件表面的脏物,清洗效率得到提高,清洗废水经收集和针对性处理后循环利用。与全部采用新鲜水清洗相比,可减少废水产生量约50%以上。

电子工业企业水污染防治可行技术

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更多数据详见附件文档。