gb /t 11446 的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。本部分使用与电子和半导体工业永高纯清洗用水。
电子级水electronic grade wat water指的是,电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。
电子级水的分类
ⅰ级 电子级水标记为: ew-ⅰ 。
ⅱ级 电子级水标记为: ew- ⅱ。
ⅲ级 电子级水标记为: ew -ⅲ。
ⅳ级 电子级水标记为: ew -ⅳ。
电子级水中电阻率、钠离子、全硅(
其他重要内容
电子级水中电阻率、钠离子、全硅(以二氧化硅计) 为交收检验项目。
在用水终端采样,检验后检验结果如有一项或一项以上不合格时,应再次采样经行检验,如仍不合格,则该批不合格,应提出改进措施直到水质合格。