超纯水是水中电解质几乎全部去除，水中不溶解的胶体物质、微生物、微粒、有机物、溶解气体降至很低程度，都是经过膜过滤或混合床等终端精处理的水。
目前，我国电子工业部把工业超纯水水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
制备超纯水的方法通常采用反渗透，去离子或电去离子（EDI）等工艺。在水质要求达10MΩ.cm以上，通常采用不同的工艺进行组合搭配的方法来制取，例如采用反渗透加去离子，反渗透加EDI等。
电导率在1us/cm—10us/cm之间的超纯水也即电阻值在0.1兆欧到1兆欧之间，这种水大都应用在对水质要求不是太严的场所，例如普通的清洗用水，普通配液用水、化学配置用水等。这种纯水可以采用一级或两级反渗透工艺来制取，传统的方法是用蒸馏法，但因能耗太大而大都改用反渗透膜法来制取这样要求不是太高的纯水。
电导率在0.1us/cm—1us/cm(电阻值1-10兆欧）之间的超纯水，这种纯水应用在对水质相对较严格的场所，例如大多数电子线路板的清洗用水、普通电镀用水、电厂用水、普通化学试剂的配制用水及广大涂料用水等。这种纯水的制备大都采用一级反渗透再后面加去离子设备，也有采用前级加砂、炭过滤作预处理，后面再用阴床、阳床、再加复床来制取的。两种工艺比较而言，采用反渗透加去离子工艺初投资较大，但设备维护简便，再生周期要长得多，而且运行稳定。
电导率低于0.1us/cm的超纯水也即电阻值在10兆欧以上，这种纯水应用在对水质特别严格的场所，例如大多数高精度电子线路板的清洗用水，电池行业配液用水，医药用生理注射用水等。这种纯水的制备大都采用一级反渗透再后面加电去离子（EDI）设备，也有采用反渗透作一级处理，后面再用离子设备来制取超纯水，但后级必须用抛光离子树脂作后级处理。两种工艺比较而言，采用反渗透加电去离子工艺初投资较大，但设备维护简便，节能环保，而且运行稳定。超纯水已被广泛运用于电子、电力、化工、电镀、锅炉补给、实验室及医药等众多领域。
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