EDI工艺在电子级超纯水制备中的工程应用

电子级超纯水(Ultrapure water)是指电阻率达到18.2 MΩ·cm(25 ℃)的水,除水分子外,超纯水中几乎不含有病毒、常量元素、细菌、气体及有机物等物质,目前广泛应用于光伏、半导体、集...

2024年3月3日 来源:技术资料

半导体生产用超纯水解决方案

电子产业是现代经济的重要支柱产业之一,体现了一个国家的科技工业水平和综合国力。其中在半导体行业内,产品制造工艺对生产用水的水质要求很高。如美国电子和半导体行业用水标准astmd5127- 07 ( 表...

2024年1月20日 来源:微电子

【短视频】超纯水在芯片制造领域是如何使用的

[myvideo url="https://www.douyin.com/video/7413331032059022607"] 在半导体行业的生产中,超纯水扮演重要角色。一个大型Fab工厂,在半导体...

2023年6月16日 来源:技术资料

超纯水设备中抛光树脂作用及填装方法

我们知道抛光树脂一般用于超纯水处理系统末端(工艺为:两级ro+edi+混床),来保证系统出水水质能够维持用水标准。一般出水水质都能稳定达到18兆欧以上,以及对toc、sio2都有一定的控制能力。抛光树...

2019年11月19日 来源:技术资料

超纯水的定义和应用领域

超纯水定义既将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18mω*cm,或接近18.3mω*cm极限值(25℃)。超纯水处理,是一般工艺很难达到...

2019年5月20日 来源:技术资料